晶圆精密加工

INTEGRATED SERVICES

核心业务

围绕客户的材料状态、目标厚度、表面要求和后续用途,组合工序而非套用单一流程。

INTEGRATED SERVICES

一套平台,贯通晶圆
加工、洁净与质量

围绕客户的材料状态、目标厚度、表面要求和后续用途,组合工序而非套用单一流程。

02PRECISION GRINDING

精密研磨与减薄

根据材料、厚度、面型与边缘状态制定加工路线,兼顾材料去除、表面保护与批次一致性。

基准面建立厚度控制面型改善
03POLISHING

晶片抛光

提供粗抛、中抛与精抛组合服务,并通过压力、转速、时间、耗材与浆料协同优化表面状态。

粗抛精抛表面优化
04CLEANING

晶片清洗

覆盖毛刷、去蜡及多槽RCA等清洗方式,针对颗粒、有机残留、化学残留和二次污染进行过程控制。

BrushDe-waxRCA
05METROLOGY

质量检测

以厚度、平坦度、外观与表面颗粒等检查结果支持过程判定、异常隔离与出厂放行。

测厚面型目检颗粒检测
06CARRIER CARE

晶圆盒清洗

通过物理清洗、化学清洗、纯水冲洗与干燥的组合流程,降低片盒残留对洁净晶片的反向污染风险。

片盒清洗纯水冲洗洁净干燥